华海清科与清华大学产学研合作年坚持核心技术自主创新研发投入占比超%

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来源:长江商报

长江商报记者徐佳

2023年度国家科学技术奖揭晓,科创板上市公司华海清科(688120.SH)榜上有名。

日前,华海清科披露,公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖。

长江商报记者注意到,作为一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备供应商,华海清科原本受清华大学控制,当前实控人为四川省国资委。自成立以来,华海清科就与清华大学在化学机械抛光(CMP)领域开展了深入的产学研合作,迄今已有11年时间。

2022年6月,华海清科在科创板上市。2023年,华海清科实现营业收入25.08亿元、净利润7.24亿元,连续四年增长。

一直以来,华海清科坚持核心技术自主创新,不断加大研发投入力度。2021年至2023年,公司研发费用1.19亿元、2.17亿元、3.04亿元,占营业收入的比例分别为14.82%、13.14%、12.12%。

获国家技术发明奖一等奖

当日晚间,科创板上市公司华海清科就发布公告,华海清科与清华大学产学研合作年坚持核心技术自主创新研发投入占比超%公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖,公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。

据华海清科介绍,化学机械抛光(CMP)是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺,公司以清华大学科技成果转化的CMP技术成果为基础,进行CMP装备产业化应用的核心技术研发,率先推出国内首台拥有自主知识产权12英寸CMP装备,实现了国内市场CMP装备领域的国产替代。公司持续加大自主研发力度,推出多款CMP商业化机型,并依托稳定的性能和良好的售后服务优势,批量进入行业知名芯片制造企业,国内市场占有率达到较高水平。

长江商报记者注意到,清华大学原本为华海清科的实际控制人。随着清华大学实施校企改革,2022年7月,华海清科的实控人变更为四川省国资委。

不过,自2013年成立以来,华海清科就与清华大学在CMP领域开展了深入的产学研合作,主要由公司负责项目应用和产业化开发,清华大学负责为研发项目涉及的基础机理进行实验室研究,二者合作已有11年时间。

而华海清科的董事长、首席科学家路新春也曾在清华大学任教多年。资料显示,1994年4月至1996年3月,路新春任清华大学精密仪器与机械学系博士后、讲师;1996年4月至2012年12月历任清华大学精密仪器与机械学系副教授、教授;2013年1月至今任清华大学机械工程系教授、首席研究员(2020年9月办理离岗创业);2014年7月至2020年10月兼任清华大学天津高端装备研究院副院长。

除路新春外,华海清科董事赵燕来、张国铭、徐春欣、王永庆、监事会主席周艳华以及总经理助理、技术总监、副总经理赵德文均毕业于清华大学。

2023年研发投入超3亿占比12.12%

资料显示,华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。

长江商报记者注意到,在IPO之前,华海清科的核心研发团队先后承担、联合承担了两项“国家科技重大专项(02专项)”及三项国家级重大项目/课题,针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线检测、大数据分析及智能化控制等CMP设备核心关键技术取得了有效突破和系统布局,打破了国外巨头的技术垄断,真正实现了国内市场CMP设备领域的国产替代。

据华海清科介绍,作为拥有自主知识产权的国内12英寸CMP设备厂商,公司凭借自身的技术与产品实力在国内CMP设备领域的市占率稳步提升,已基本覆盖国内12英寸先进集成电路大生产线,处于国内领先地位。

2022年6月,华海清科在科创板上市,其经营业绩一直保持稳定增长态势。同花顺数据显示,2020年至2023年,华海清科分别实现营业收入3.86亿元、8.05亿元、16.49亿元、25.08亿元,同比增长82.95%、108.58%、104.86%、52.11%;净利润9778.77万元、1.98亿元、5.02亿元、7.24亿元,同比增长163.42%、102.76%、152.98%、44.29%;扣非净利润1461.46万元、1.14亿元、3.8亿元、6.08亿元,同比增长130.62%、679.88%、233.36%、60.05%。

今年第一季度,华海清科则实现营业收入6.8亿元,同比增长10.4%;净利润和扣非净利润分别为2.02亿元、1.72亿元,同比增长4.27%、2.78%。

作为集成电路行业上市公司,华海清科一直坚持核心技术自主创新,不断加大研发投入力度。2021年至2023年,公司研发投入金额1.19亿元、2.17亿元、3.04亿元,占营业收入的比例分别为14.82%、13.14%、12.12%。

今年第一季度,华海清科的研发投入金额为8044.04万元,同比增长24.26%,占营业收入的比例为11.83%,同比增加1.32个百分点。

目前,华海清科已建立了全面覆盖CMP、减薄、划切、清洗、膜厚测量等核心技术的知识产权保护体系,核心技术已形成高强度专利组合和技术屏障,截至2023年末,公司拥有国内外授权专利368项,其中发明专利186项、实用新型专利182项,拥有软件著作权26项。

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信睿

这家伙太懒。。。

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